







影响镀膜机磁控靶点火电压的几个因素
气体压力对点火电压的影响:在磁控靶溅射镀膜工艺过程中,由于磁控靶的阴-阳极间距一经确定就是一个大体不变的值,工作气体的压力在一定的(例如0.1Pa~10Pa)范围内变化可能会对点火电压产生较大的影响,总的变化趋势为:随着工作气体的压力的逐步增大,磁控靶点火电压相应降低。不同的磁控靶、不同材质的靶材,靶启辉点火的工作气体压强不尽相同。
电源对点火电压的影响:在同等条件下,选用射频靶电源比选中频或直流靶电源,磁控靶阴极点火电压和工作(溅射)电压都会要降低;选用射频、中频正弦半波或脉冲靶电源,比选低频率同类波形靶电源,阴极点火电压和工作(溅射)电压均会要降低;
蒸发真空镀膜机的原理及性能,你了解多少?
电镀设备真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染,消除空间碰撞,提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。目前所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。薄膜厚度可由数百埃至数微米。
为了提高镀层厚度的均匀性,真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置,如用行星运动方式,这种运动方式成膜均匀性好,台阶覆盖性能良好,镀件装载量大,可以充分利用真空镀膜室的有效空间,是目前经常采用的运动方式。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。
五金装饰膜离子镀膜机有哪些特点
该设备是一种***、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。五金装饰膜离子镀膜机是一种***、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。
真空电弧离子镀膜的原理是基于冷阴极自持弧光放电等离子体蒸发、电离镀料,结合脉冲偏压技术,提高沉积粒子能量和活性,增强膜层的各项性能。它不仅能在金属制品表面进行镀膜而且能在非金属制品表面上进行镀膜;可以镀金属膜,氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬及镍、铬、铜等化合物膜、多层超硬膜、多元化合物膜,还可以镀氮化钛掺金膜等。电弧离子镀膜广泛应用于工具、模具的超硬涂层,汽车轮毂、高尔夫球具、钟表、酒店用品、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。
至成镀膜机厂家着力改进圆形电弧蒸发源,同时着力开发高性能矩形平面电弧蒸发源,均已装配新机。