CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速***低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
- 双等离子清洗源
- 一机多用
- ***低损伤
技术参数
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产品型号 |
CIF-SEM |
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法兰接口 |
KF40 |
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工作气压 |
0.3-3Pa |
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等离子电源 |
13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器 |
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气体控制 |
标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），***测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
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气源选择 |
根据需求氧气、***气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
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真空控制 |
美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr |
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真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
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操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
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电源/功率 |
220V，50/60Hz，300W |
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可选配件 |
可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
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质量保证 |
二年质保，终身维护 |