紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速***的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，***化***，氧化铝等）上的有机污染物。
CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压***蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选加热控温，以便达到***佳清洗效果。
- 产品特点
- u编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。
- 数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
- 任何时间可以手动中断处理过程。
- 自动记录之前清洗参数设置。
- 样品台可控温（可选），控温范围RT-260℃，控温精度0.1℃。
- 上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
- 样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理***样品高度和位置，位置可锁定。
- UV石英低压***蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。
- 高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
- UV反射罩（长X宽）比UV格栅灯大2.5cm，比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
- 双重安全保护，当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯，并有灯光通断提示。
- 带进&出气口双气路设计，可接入氧气，增加臭氧产量。
- 可选臭氧中和器，用于臭氧清除。
- 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
技术参数
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产品型号 |
UV灯尺寸cm |
样品台高度cm |
主机重量kg |
外型尺寸（LxWxH）cm |
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UVO5/UVO5P/UVO5T |
13x13 |
10cm内可调 |
6 |
31x26x20 |
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UVO9/UVO9P/UVO9T |
23x23 |
10cm内可调 |
12.5 |
60x50x20 |
注：UVO型基础型样品台不带加热功能，样品台高度不可调；UVOP可选配样品台加热功能，样品台高度可调；UVOT标配样品台加热功能，样品台高度可调。