能量色散型 X 荧光光谱仪 EDX 原理简介
来自 X 射线管的特征 X 射线照射到样品上，样品中含有的元素受 X 射线激发后
会发出特有能量的 X 射线荧光。用检测器检测 X 射线荧光，根据 X 射线荧光的能量
进行定性（确定含有什么元素），根据 X 射线荧光的强度进行定量（确定元素的含
量）。
检测器直接测定的是元素 X 射线荧光的强度，而我们关心的是元素的含量。利
用 X 射线荧光的强度与元素含量存在比例关系，我们通过测定已知含量的标准样品
建立工作曲线（安装工程师设定），再根据待测样品的 X 射线荧光的强度通过计算
机自动换算为含量值。
EDX-LED 的优势：
一、设计理念：从“分析仪器”到“检查仪器”蜕变
1、反映电子电气生产企业真正需求的专用仪器：
判断产品是否符合 RoHS 指令或客户需求是绝大多数 EDX 的日常工作，EDX-LE 精炼 EDX-720
和 EDX-GP 等各种分析方法，建立了专门的自动筛选分析法。
2、使用简便、故障率低的仪器 ：
配备电子制冷检测器减少了日常维护工作；
配置自动点检功能，延长 X 射线光管和高压发生器的使用寿命；
初学者也可以操作的导航式画面，不依赖于操作人员的水平也能得出准确的数据；
“起動・校正”等仪器自动稳定程序，避免操作人员的失误操作。
3、超越同类型产品的高性能仪器：
通过滤光片、工作曲线法、FP 法、形状和厚度修正软件等一系列的硬件、软件配合，***大限
度克服电子制冷检测器分辨率偏低的不足，基本上达到液氮制冷 EDX-GP 的测试效果。
4、本质安全的仪器：
设计充分考虑到 X 射线的防护，仪器工作时周围一米内的 X 射线强度小于国际标准 1µsv/h，
是***得到国内环保部门豁免的 EDX 类仪器。
二 检测能力：提高用户不受相关***处罚的安全系数。
1、超标的元素能如实检测出来：
*选用高灵敏度、高计数率的检测器，塑胶中五元素的检测下限都在 5ppm 以内；
*使用有针对性的滤光片，降低背景，提高信噪比；
2、避免将合格的样品误判：
*同类检测器中***高的分辨率，对于干扰较多的 Pb 元素，选用两条特征谱线分析；
*采用工作曲线法为主，FP 法补充的分析方法，筛选分析软件可根据样品材质自动选择***适
合的分析方法，避免操作人员的误判；
*形状和厚度修正软件，避免不规则样品带来的误差
3、符合 RoHS 指令的报告格式
输出报告中含有测试数据、标准偏差、谱图和样品图片等各种 RoHS 指令必需的信息。