随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。
位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，电容位移传感器设计，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
由于环境温度的改变，电容位移传感器，导致的被测物体导电性变化，对测量结果没有影响。电容式测量原理使传感器甚至可以在波动的温度环境下使用。德国米铱的电容传感器探头拥有非常复杂的内部结构。作为平板电容，可以根据客户的不同要求，将传感器安装在不同机械结构上。
电容式传感器可以在更换探头时，无需重新校准。这无疑大大方便了客户。这使得不同量程的电容传感器和控制器可以简便的更换，而无需重新校准。更换一支传感器的时间仅仅为数秒，电容位移传感器品牌，这比起市场上绝大部分传感器来说，是个巨大的优势。还允许被测物体的非接触接地。如果同时使用两通道测量，例如厚度测量，必须同步两个通道的测量结果。被测物体则必须接地。
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