







真空镀膜机的安装
真空镀膜机应安置于清洁而干燥的室内。镀膜工作室的环境应是空气清洁,设有空调设备,室温一般在23~25℃之间,相对湿度为60%左右。
工作室温度太高会影响抽速,温度太低则机械泵难以起动。室内太潮湿会影响膜层质量。
由于大多数膜料都有不同程度的毒性,当钟罩打开时会飞散在室内空气中,因此在钟罩附近应安装抽风设备,以便在钟罩打开时抽掉真空室内的有***体与飞扬的碎屑。
镀膜机应装在靠墙处,但四周应留有检修与操作空间,并有冷却水源,水压约为3个大气压。镀膜机的防振要求不高,无需特殊机座,但必须安置平稳,不应有振动。
真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用
真空镀膜机的发展相当迅速,随着生产率的提高,生产费用大大降低,已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。
以卷绕式真空镀膜机为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm,大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用,卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。
真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2,可以在这个范围内选择,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室,左下室和右下室。蒸镀时,两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。
真空镀膜机的真空室设计方法
真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。
使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构,结构上要保证快速抽空,因气袋会缓慢的放气,因此要避免出现隔离孔穴,真空系统上端会加装磁控溅射枪,为了使真空室和元件有足够的强度,保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化,厚度需要足够。
焊接是真空室制造中的一道关键工序,保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象,须合理设计焊接结构,提高焊接质量,处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁,须特别注意的是需做好防止生锈的措施。
