真空镀膜机设计安全
安全保护系统对任何仪器设备都是很重要的。为保证整机设备和人身安全，对于用户来说，我们设计分配了2级的安全级别，即管理者和操作者。管理者可以修改工艺和参数，而操作者只能执行程序，查阅程序参数。
不论是工作在自动工作方式，还是手动维护方式，输出量的互锁保护都是非常重要的。为防止误操作，我们设计了互锁电路和程序互锁的2级互锁。条件不充分按错键时，系统给予提示不执行错误命令。系统中还增添了某些重要参数的安全区域报警或警告。通过红黄绿三色警示灯和讯响器的控制动作，分别实现各种情况的警示。如工艺过程中工艺气体充气流量稍低于设定流量时，给予黄灯讯响警告仍然继续工作，压力***后流量转为正常，绿色指示灯亮。但当流量低于设定的下限时，红灯点亮报警，停止工艺进程
镀膜机通过用户的使用和生产，证明整个程序化自动控制系统满足了用户的使用要求。
控制系统界面清晰友善、编程简单、操作方便、数据查阅迅速、系统稳定可靠、工艺重复性好，光学减反射膜层的透射率等性能指标完全符合航天高性能GaAs太阳电池的要求，并为今后提高GaAs太阳电池的减反射膜层性能提供了良好的平台。
尽管如此，电子束蒸发镀膜机的发展在国内已有几十年，技术虽不断提高，但比较国外***技术还有一定差距。本文对电子束蒸发镀膜机所应用的控制技术国际上虽然不是很新的技术，但此方面控制系统的应用，在国内生产的真空应用设备上还很少，且要能长期工作稳定可靠，还有很大的发展空间，这是和国内真空行业在真空应用设备上的整体发展水平相关的。
真空泵，隔膜泵机械密封的安装与使用要求
1、机械密封对机器精度的要求：（以真空泵的机械密封为例）
（1）安装机械密封部位的轴（或轴套）的径向跳动公差不超过0.04～0.06mm.
（2）转子轴向窜动不超过0.3mm.
（3）密封腔体与密封端盖结合的***端面对轴（或轴套）表面的跳动公差不超过0.04～0.06mm.
2、密封件的确认：
（1）确认所安装的密封是否与要求的型号一致。
（2）安装前要仔细地与总装图对照，零件数量是否齐全。
（3）采用并圈弹簧传动的机械密封，其弹簧有左、右旋之分，须按转轴的旋向来选择。
真空镀膜机的阴极电弧技术
真空镀膜机的阴极电弧技术是利用真空环境下的弧光放电，使固体阴极靶材蒸发、离化并通过等离子体的强化作用，飞向阳极基体表面沉积成膜的技术。正因为如此，阴极电弧技术具有极高的沉积速率。
在含有惰性气体或反应气体的真空环境下沉积在基体表面，具有高能量的离子束对于提高膜基结合力和打乱膜的柱状晶结构是非常有利的，从而也可大幅度改善膜的***结构和力学性能。目前，各薄膜设备制造商通过对成膜原理和工艺的研究采用各种不同的措施来减少“液滴”的产生。
其中BAI1200、RCS是采用圆形平面阴极源技术和辐射加热技术,可进行快速镀膜生产。利用该工艺制备的TiAlN可增强加工工具切削刃的稳定性，并使干切削加工成为可能。
