高纯气体输送系统对设计方案的要求
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式， 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然 而不论是 用 液态 还 是气态 ，管道置换定额， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ， 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、， 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估 算 ， 采用经济合理的流速 ，煤气管道置换， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ， 我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同， ***一路， 力避相互窜气干 扰 ， 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ， 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
高纯气体输送
重视配管 防尘 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净 ， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除 阀门的开闭 要迅速 ， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、 检查和分析 配管连接完 工 以 后 ， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ， 其一 ，般程序如图 所示 飞 气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液 肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实 际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接 中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准 在没有现 场分析仪的 ，管道置换方案， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ， 以 确 保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ， 但非 不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 ***和精力 ， 更重要 的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 巨大的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管 理 。 有条件的 ， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ， 礴点及 含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系 统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行
管道材料溶解到纯水 中的杂质浓度太低了 ， 使得许多仪器无法分辨 出来 有两种方法 尚 能相对地对管道材料做一些 比较 浸泡试验 这是将一定面积的管道材料严格清洗后 浸泡在超纯水中， 或将超纯水装 人经严格清 洗的 一 定 长 度的 管道 中， 经 一 定 时 间 的 浸 泡 ， 测定浸泡前后各种 离子和 TOC的变化经计算可得到单位时间内单位面积的管道杂 质的释放里 ， 可 以做各种管材的相对 比较 用 将管道患矛切下显微镜观测管谁内壁 涪，管道置换， 内璧戮徐金后用 电子显 徽镜观测 ， 观察材料表面 的徽孔 徽孔多易 于沉积徽拉和细蔺 观侧 资料证明， 管 道内壁相当光滑 ， 而 PP管内壁有 阳的0.3-1 微孔
管道置换方案-念龙化工-管道置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司（）拥有很好的服务与产品，不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是全网商盟认证会员，点击页面的商盟***图标，可以直接与我们***人员对话，愿我们今后的合作愉快！
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管道材料溶解到纯水 中的杂质浓度太低了 ， 使得许多仪器无法分辨 出来 有两种方法 尚 能相对地对管道材料做一些 比较 浸泡试验 这是将一定面积的管道材料严格清洗后 浸泡在超纯水中， 或将超纯水装 人经严格清 洗的 一 定 长 度的 管道 中， 经 一 定 时 间 的 浸 泡 ， 测定浸泡前后各种 离子和 TOC的变化经计算可得到单位时间内单位面积的管道杂 质的释放里 ， 可 以做各种管材的相对 比较 用 将管道患矛切下显微镜观测管谁内壁 涪，管道置换， 内璧戮徐金后用 电子显 徽镜观测 ， 观察材料表面 的徽孔 徽孔多易 于沉积徽拉和细蔺 观侧 资料证明， 管 道内壁相当光滑 ， 而 PP管内壁有 阳的0.3-1 微孔
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