





无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘车间洁净室(区)与周围的空间必须维持在一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。1、不同等级的无尘车间洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。2、无尘车间洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定3、送风、回风和排风系统的启闭宜联锁,正压差洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机,关闭时联锁程序应相反,负压差洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反4、非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化空调处理。
十万级无尘车间有什么室内装修规定? 1、十万级无尘车间的地面应全1面性好、整平、耐磨损、耐碰撞、不容易堆积静电感应、易除灰清理,地面基础垫层应配筋图,湿冷地域应做防水解决。 2、十万级无尘车间的工程建筑围护界区和房屋装修,应取用密封性优良,且在温度和环境湿度转变的***下形变小的原材料。十万级无尘车间生产车间内墙面和顶篷的表面,应整平、光滑、无缝隙、插口严实,无颗粒物。