激光合成波长纳米位移测量技术解决大范围高精度的纳米位移测量和微运动技术问题。为解决大范围高精度的纳米位移测量和微运动技术问题，浙江理工大学陈本永***带领的研究团队提出了采用激光合成波长实现高精度大范围纳米位移测量的理论和方法，开发出相关的测试计量装置。该成果的主要创新为：①提出了利用双频激光合成波长干涉条纹虚细分实现超高精度位移测量的原理；②发明了基于该原理实现高精度(纳米级)大范围(毫米量程)位移测量的新方法；③研制出在同一干涉仪中直接实现大范围高精度纳米位移测量的新型测试计量装置。严格意义上的多轴伺服系统同步涉及到复杂的数控和伺服系统接口规范的制定。
?纳米级重复***精度超精密传动、驱动控制技术
微、纳米级高精度传感器的生产现场适应性更强，精度更高。RENISHAw的SP80超高精度数字式扫描测头，分辨率为0.02μm；ZEISS的VAST 三维六向扫描测头系统，采用平行片机构，分辨率为0.05μm，扫描范围达2mm。多轴联动数控系统的精度主要从单个伺服轴的运动控制精度和联动轴耦合轮廓精度2方面来评价。Werth的光纤测头，半径仅为12.5μm，号称世界较小，适用于超细、超精密工件的测量。
我国测量技术和相关仪器的研究取得了一系列重要进展，新型测量原理、测量技术、测量系统及仪器设备不断出现：新型传感原理及传感器、***制造的现场、非接触、数字化测量，微纳米级超精密测量、超大尺寸精密测量、基标准及相关测量理论研究等方面都有了长足的发展。根据等离子体激元装置反射的激光的量，就可以得到间隙的宽度和纳米颗粒的运动。
从20世纪50年代至70年代，栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅，这5种测量系统都是将一个栅距周期内的测量和周期外的增量式测量结合起来，测量单位不是像激光一样的光波波长，而是通用的米制(或英制)标尺。
电容式传感器ZNX实际的基本包括了一个接收Tx与一个发射qiRx，其分别都具有在印刷电路板(PCB)层上成形的金属走线。在接收qi与发射走线之间会形成一个电场。电容传感器却可以探测与传感器电极特性不同的导体和尽缘体。测量技术的***程度将成为我国未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键。当有物体靠近时，电极的电场就会发生改变。从而感应出物体的位移变化量。
