







真空镀膜设备选购要点分析
真空镀膜设备选购要点分析如下:
1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3、夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
4、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
5、根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。
7、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。
8、根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
9、完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。
真空镀膜设备的正常工作条件
1.环境温度:10~30℃
2.相对湿度:不大于70%
3.冷却水进水温度:不高于25℃
4.冷却水质:城市自来水或质量相当的水
5.供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz,电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;
6.设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。
7.设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
真空镀膜机对环境的要求
真空镀膜机在使用的时候,难免会因为使用的问题使得真空镀膜机沾上其他污染物,所以经常清洗真空镀膜机也成为***机器的一个重要部分,在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前,对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命,因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
一般在使用中,真空镀膜机常见的污染物有:
1、油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;
2、操作时候的手汗,吹气的时候的水汽和唾液等等;酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等;还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。
清洁这些污染物可以改进真空镀膜机工作稳定性,使工作可以更顺利的进行。
