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蓝宝石衬底片双面研磨机精密加工中存在的问题

蓝宝石衬底双面研磨机在生产技术上比较成熟，器件质量比较良好，而且因为它采用的是蓝宝石为衬底，所以能够耐得住高温。因为蓝宝石的机械强度高，更便于机器的处理和清洗。蓝宝石由于其硬度高，28B抛光盘，熔点高，电绝缘性优良，化学性能稳定，在国内以及国外都广泛应用在机械，光学，信息等高技术领域。是双面研磨机中一种不可或缺的材料。但由于蓝宝石衬底容易晶格失配和热应力失配，而且蓝宝石还是一种绝缘体，所以在国内批量生产蓝宝石衬底片工艺过程中，***及崩边比例较高，约占总数的6%左右。研磨及抛光后，蓝宝石衬底片表面微划痕较多，有20%左右的衬底片表面因未能完全去除加工损伤层，需要重新研磨抛光，致使有部分衬底片厚度偏薄报废。

通过上面我们了解到的情况可以清楚的了解到，任何一项好的工艺有它的优点更有他的缺点。如何把它运用好才是关键。

圆盘研磨机主要有:标准型研磨机[单面研磨机]，在大研磨盘上，放置几个保持环，其中放进工件，在工件上面加上适当压重进行研磨;摇摆型研磨机[单面研磨机]，将工件预先粘接在保持盘上，在研磨盘上进行左右摇摆研磨;双盘型研磨机[双面同时研磨]，在行星保持器上装进工件，工件被夹在上、下研磨盘之间，既自转又公转，两面同时研磨。

圆盘研磨机中摇摆研磨机使用带有万向接头的研磨碗可研球面，28B抛光盘价格，多用于光学零件加工，通过数控装置还可加工非球面，已发展成为数控非球面研磨机.双盘型研磨机有三种运动类型，三种都是行星保持器自转和公转:是上、下研磨盘均固定不动的，称为双动式(2 Way);第二种是下研磨盘旋转的，称为三动式(3 Way)，第三种是上、下研磨盘做同向或反向运动的，称为四动式(4 Way)。

抛光机抛操作的关键是要设法得到***1大的抛光速率，以便赶快除掉磨光时发生的损害层。一起也要使抛光损害层不会影响***终观察到的安排，28B抛光盘供应，即不会形成假安排。前者需求运用较粗的磨料，以确保有较大的抛光速率来去掉磨光的损害层，但抛光损害层也较深；后者需求运用***细的资料，使抛光损害层较浅，但抛光速率低。处理这个对立的***1佳的方法就是把抛光分为两个期间进行。