{洁净室检测}
洁净室的发尘源
洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5?m）。是洁净室内的主要的发尘源。
② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5?m）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。
③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5?m）。
检漏的范围
1、过滤器的滤材。
2、过滤器的滤材与其框架内部的连接。
3、过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间。
4、支撑框架和墙壁或顶棚之间。
PAO法检漏仪器
1、尘源：PAO溶剂。
2、气溶胶发生器：即产生烟雾的装置。
3、气溶胶光度计：即测定和显示气溶胶浓度的仪器。
PAO法原理
在被检测***过滤器上风侧发生PAO气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计进行采样，含尘气体经过光度计产生的散射光由光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显示。应当具备并维护产品生产所需的生产场地、生产设备、监视和测量装置、仓储场地等基础设施以及相关受控环境。采集到的空气样品通过光度计的扩散室，由于粒子扩散引起灯光强度的差异，经测定这个光强度，光度计便可测得气溶胶的相对浓度。由此而知，PAO试验实际测得的是***过滤器的穿透率，而***过滤器其效率与穿透率存在以下的关系：
K=(1—α）×100%
式中 K——***过滤器穿透率，％；
α——***过滤器效率，％。
3、然而，生物洁净室对环境洁净度的控制尚不仅限于微粒。
4、***，鉴于它救人的特殊作用，在生产环境中除了对非生命污染物——微粒要加以限制外，还必须对有生命的污染物——微生物做出必须的规定。因为它们对***的污染比微粒更甚，不加以控制则对***危害更为严重。微生物多指***和***，可以在一切地方产生，有很强的繁殖力。1泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。空气中的微生物多数附着在灰尘上，也有的以芽孢状态悬浮在空气中。微生物污染是指因微生物产生、附着而给特定的环境带来的不良影响，由于微生物不断生长和繁殖，因为它是“活的粒子”。
5、正是因为这些原因，生物洁净室必须同时对生产环境中的微粒和微生物加以控制。（SDA）颁布?规范?附录中提出的***生产洁净室的空气洁净度级别就体现了这方面的要求，同时也反映出***生产企业洁净室不同于其 他工业洁净厂的特点。
