洁净实验室设计时,预先考虑和计算好机械设备占用面积很重要,在设计阶段,要秉持灵活性原则,为未来发展需要做好准备,这样的实验室设计方案更利于进一步的扩张和修改,阜阳洁净室,以及添加新设备和工具。洁净实验室设计要求墙壁管道系统可容纳较多的管道、电力设施。
洁净实验室设计要求气闸能帮助小化和防止可能影响工作流程的压力变化。因为洁净室内可能存在大量灰尘、污垢颗粒、***化学物质和其他污染物等。


具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,洁净室设计,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,千级洁净室,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

洁净室的送、回风方式影响洁净室风量分布的主要原因是气流***、送风方式及送、回风口的数量。如果洁净室气流分布不匀出现涡流,洁净室厂家,就会减弱尘埃粒子的稀释效果,从而影响室内粒子浓度场的均匀程度。根据我们的施工实践,送风气流应该由上至下均匀分布开来以便加强扩散,减少以短路线进入工作区的直射方式,稀释尘埃微粒污染,然后沿着沉降的方向从排风口排出。由此可见上送下回的送风方式较为理想。


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