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洁净度100级（ISO4）：大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的尘粒数为0。洁净度1000级(ISO5)：大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3（3.5粒/L）到小于等于35000粒/m3（35粒/L）；大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3（0.3粒/L）。
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洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，东莞木蜡油，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
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根据气流的流动状态分，主要有以下三种气流分布的洁净室 [1] ：（1） 非单向流洁净室：以前常称为乱流型洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（或亚）尽
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