特种气体的作用：
1、反应及中和介质，在精细化工、生物医1疗中用于反应、保护等。
2、冷冻和保鲜介质，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。
3、治1疗杀菌介质，氦气、氧气、氮气、激光混合气等用于医1疗设备。
4、综合手段与介质，应用于制造业的成型保护、核反应堆的保护、电光源照明行业和吹扫等。
氦质谱检漏法是使用氦质谱检漏仪的氦分压力丈量原理，完成被检件的氦走漏量丈量。特种气体系统的设计与施工供气系统的选择常规供气系统常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，走漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。
特种气体系统的设计与施工
供气系统的选择
常规供气系统
常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省***。
特种气体采用普通钢瓶（lt;50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；灭菌过程结束打开灭菌器时，必须先打开门窗及通风设备，室内环氧乙1烷气味很浓时，不得开启电灯照明及手电照明，防爆灯除外。多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。
特种气体的杂质检测和监控
随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从***早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直***产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。）焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。
