







真空镀膜机工艺一般都运用到哪些领域?
1、真空镀膜工艺在信息存储范畴中的运用薄膜资料作为信息记载于存储介质,有其得天独厚的优势:因为薄膜很薄能够疏忽涡流损耗;磁化回转极为敏捷;与膜面平行的双稳态状况简单保持等。为了更精细地记载与存储信息,必定要选用镀膜技能。
2、真空镀膜工艺在传感器方面的运用在传感器中,多选用那些电气性质相关于物理量、化学量及其变化来说,极为敏感的半导体资料。此外,其中大多数运用的是半导体的外表、界面的性质,需求尽量增大其面积,且能工业化、低报价制造、因而选用薄膜的状况许多。
3、真空镀膜机工艺在光学仪器中的运用大家了解的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪,以及平时生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等,它们都离不开镀膜技能,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。
4、镀膜机工艺在集成电路制造中的运用,镀膜机晶体管路中的保护层(SiO2、Si3N4)、电极管线(多晶硅、铜及其合金)等多是选用CVD技能、PVCD技能、真空蒸腾金属技能、磁控溅射技能和射频溅射技能。可见气相堆积术制备集成电路的核心技能之一。
真空电镀设备膜厚的不均匀问题
无论监控仪精度怎样,它也只能控制真空室里单点位置的膜厚,一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的,那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性,但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的,所以几乎是不可能消除的,但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响化。
在过去几年中,越来越多的用户要求镀膜系统制造厂家提供高性能的小规格、简便型光学镀膜系统,同时,用户对性能的要求不仅没有降低,反而有所提高,特别是在薄膜密度和保证吸水后光谱变化化等方面。
现在,系统的平均尺寸规格已经在降低,而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。因此,选用现代化光学镀膜系统的关键取决于对以下因素的认真考虑:对镀膜产品的预期性能,基片的尺寸大小和物理特性以及保证高度一致性工艺所必需的所有技术因素。
金属带镀膜设备
HCMRC系列采用模块化设计,是用于薄膜镀膜的灵活生产工具。通过我们各种技术的独特组合,可以生产高反射膜、高吸收膜和装饰性镀膜。此外,为了更广泛的应用,我们还可以沉积防触摸膜层或者防腐膜层。
不锈钢带卷绕镀膜设备采用公司新开发的磁控溅射镀膜技术、阴极电弧离子镀膜技术及独特设计的离子源辅助沉积镀膜技术等多种技术组合,成功应用在大卷径宽幅高真空连续卷绕镀膜设备中,可正反面镀制装饰性膜层和防腐蚀膜层,改善金属卷材表面特性,扩展应用范围。
模块化设计概念,带材纠偏系统、等离子体预处理、磁控溅射系统、在线测量和工艺控制系统、电子束蒸发灵活组合。膜层均匀性好,沉积效率高,镀膜速度快,是大型不锈钢卷连续镀膜生产线的良好选择。