国内外曾对硅油进行过相容性试验。所试验的材料包括：金属（钢、铜、），橡胶（天然橡胶、异丁烯橡胶、氟橡胶），器身绝缘材料（绝缘纸、绝缘纸板、聚酰亚安、聚四氟聚乙烯、聚乙烯、聚丙希、Nomex纸等）。经过试验，证明变压器上常用的各种材料是和硅油相容的。但是，应注意的是，硅油能从某些成分的天然橡胶和异烯橡胶中吸附其增塑剂，因此在使用橡胶时应事***行试验。另外，硅油也不能与黄铜、硅橡胶兼容。由于各厂家生产的硅油性能有一定差别，因此在使用前着重做相容性试验。
硅油的优异特性，使在供应生产、科研、和卫生等部门获得了极其广泛的应用，主要用于电气绝缘、脱模、消泡、阻尼防震、液压、防尘、防水盒高低温润滑等方面。广泛用于电机、电器、电子仪表上作为耐温、耐电弧、耐电晕、搞蚀、防潮、防尘的绝缘介质。目前还用作变压器、电容器油、使变压器体积缩小、功率增大、提高安全性和无污染。
由于取代基的不同，硅油种类繁多，显示出不同的沸点和分解温度，如沸点，有的超过100度，有的超过300度。硅油的分解温度在300℃以上，高可达500℃。硅油在高温下分解的产物是二氧化硅（SiO 2）。
根据以上分析，如果挥发性有机化合物中含有硅油，那么即使少量硅油带入催化剂，理论上也会有以下效果。1. 如果硅油的沸点很高，分解温度也很高，那么会直接黏附在催化剂表面，导致催化剂失活；2. 如果硅油的沸点低，在催化温度下发生了分解生成二氧化硅，对催化剂的影响较小。挥发性有机化合物催化剂是否能促进硅油的分解尚未报道。
采用活性炭吸附浓缩催化燃烧技术，由于硅油沸点高，难以在活性炭表面吸附，对后续催化燃烧影响不大。
