滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
过滤器的分类：
按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六类过滤器。
过滤器的使用和更换：
粗效过滤器是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是过滤大颗粒的粒子，以保护其后的空调设备（如表冷器和加热器等）和中效以及更高过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。它除去的是≥5.0μm的粒子
中效过滤器一般设在空调箱的正压段，其作用是保护亚高效、高效过滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0μm的中小粒子。一般情况下，中效过滤器是中间过滤器，不能做预过滤器用，也不能做终端过滤器。
{高效过滤器检漏}的测试方法
——高效过滤器检漏——
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认：
1. 滤网的材料无破损，
2. 安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，万级洁净室，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统，天花板上是负压，净化洁净室，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。
——高效空气过滤器检漏方法——
PAO/DOP过滤器检漏
气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，洁净室，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，百级洁净室，可用来无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。
1 泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与制药场所），所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。
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