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真空查漏方法主机

SFJ-261型氦质谱检漏仪是借鉴国外***的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上***水平。

真空查漏方法技术参数：

小可检漏率：5×10-12Pa?m3/s漏率显示范围：启动时间：≤响应时间：＜检漏口高压力：极限真空：

氦质谱检漏方法:根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。如果真空系统或容器存在漏孔的话，静态升压法是无法确定漏孔所在的。喷吹法是用喷枪对部分喷氦气，找出漏孔的位置，但效率较低；氦室法可对大容器检漏，将部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能确定。

氦质谱检漏仪的主要技术指标有：①灵敏度，又称小可检漏率，单位为帕·米3/秒；②反应时间与清除时间，单位为秒；③工作压强与极限压强，单位为帕。