二、氮气置换
2.1置换目的:
达到对气体O2含量要求(O2含量不大于1%V).
2.2置换前的准备工作及条件确认:
(1)置换区域场地平整，置换区域有明显的警示标志，同时应设置隔离带隔离无关人员
(2)置换区域内各设备、阀门、管道等临时标识清晰正确
(3)天ran气管路气密试验合格。
(4)仔细检查流程，隔离系统。
(5)联系化验室准备采样分析氧含量或准备可便携式的氧含量分析仪。
实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，管道氮气置换，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
氮气置换液化气流程
为了废碱性水的问题，长输管道氮气置换，在 2013 年
过程中，通过外引高压氮气（2.5 MPa）对
液化气脱硫醇系统内部液化气进行置换处理。根
据液化气脱硫醇装置的工艺流程，通过添加临时
线变通，从液化气脱硫醇各设备顶部充压，底
部引出退料，退料液化气全部转入液化气缓冲罐
D-501，然后使用液化气 P-501 转进液化气罐区，氮气置换量是管道容积的几倍，
避免氮气进入液化气罐区，对罐区造成冲击。工
艺流程见图 1。因氮气密度比液态液化气轻，因
此临时配管退液化气线必须从各塔、罐底部引
出。
退液化气脱硫醇系统中液化气的基本步骤
为：
1）高压（2.5 MPa）氮气经 P-504 出口沿催
化剂碱线进 C-501 塔顶，燃气管道氮气置换方案，实现脱硫醇装置液化气
系统充压。
2）C-501 充压至 1.2 MPa，氮气沿正序流程
*** E-503，后进水洗罐 D-503、沉降罐 D-504，
通过各设备底部临时管线，依次退净 E-503、
D-503、D-504 内液化气至缓冲罐 D-501。 3）C-501 退料通过催化剂碱液线转进 D-501，
C-501 退碱时，应保证碱液退净，液化气退料线
上进下出，通过现场玻璃板以及现场流量计变化
情况判定是否压净。
4）D-502 充压：从 C-501 入口线经 E-502 倒
转进罐，尽量将管线内液化气置换干净，通过罐
底退水线转进 D-501，实现氮气上进下出，通过
现场玻璃板判定液化气是否压净。
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