





湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。将真空室的真空度抽到66.67Pa后,充人少量氮气或氢气、氮气的混合气体。当电压调整到400~800V时,氮即电离分解成氮离子、氢离子和电子,并在工件表面产生辉光放电现象。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,***1高时可达千伏量级。正离子受电场作用加速轰击工件表面,使工件升温到渗氮温度。氮离子在钢件表面获得电子,还原成氮原子而渗人钢件表面并向内部扩散,形成渗氮层。
?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。这种新工艺在不断扩大着适用材料品种和应用领域,成功地处理了球铁、合金铸铁、马氏体钢、奥氏体钢和弥散强化不锈钢。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。??
辉光放电(glow discharge)是指低压气体中显示辉光的气体放电现象,即是稀薄气体中的自持放电(自激导电)现象。由法拉第第1一个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于乃稳压管、氦乃激光器等器件的制造。