气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，管道氮气置换，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，长输管道氮气置换，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
高纯气体输送系统对设计方案的要求
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式， 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然 而不论是 用 液态 还 是气态 ， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ， 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ，管道置换氮气， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、， 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估 算 ， 采用经济合理的流速 ， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ， 我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同，燃气管道氮气置换， 独立一路， 力避相互窜气干 扰 ， 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ， 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
1所有气体管路均由高质量、完全退火的无缝不锈钢管(BA及)制成。铜管仅在气体管路末端使用，对气体的纯
度要求不太严格。(例如通风橱).
2、气体安装管道不得敷设电缆和导线。
3.气体，如需要与其他气体分开引入。如果氢气管道与其他可燃物气体管道平行敷设，其间距不得小
于0.M交叉敷设时间间隔不得小于0.25米，分层敷设时氢气管道应位于上方.
4.压缩空气有净化装置，用于过滤管道上的杂质和水分。净化装置需要并联连接，并通过单独的阀门分开，以
便于过滤装置的维护。
5.高纯度气体管路的连接是无缝焊接。接头配件只能在连接到阀门或调节装置时使用。
6、每个实验室应有单独的控制阀、减压阀和压力表。
7.应为通向工作台的气体管路安装单独的控制阀。各种气体控制阀应均匀排放在工作台上。建议在氨气管道前
安装气体净化装置。
8、每隔1.5米左右，气体管路需要一个支架。此外，根据气体管路弯曲半径，设置适当的支架位置。必须支持
所有弯曲。燃气管道安装管道的所有支架均应镀锌防腐处理。
科研气体管道材料和连接
1.气体管道纯度小于99.99%的应为10#或20#无缝钢管(内表面镀锌或净化处理)和铜管，镀锌管道带有螺纹。
2.总杂质含量s 10-100ppm的气体管道采用304不锈钢光亮退火管(304BA) 、304不锈钢管净化处理(304AP)
和紫铜管，管道通过焊接连接，可以使用对焊、承插焊或套管焊。
3.总杂质含量s 1-10ppm的气体管道采用316升不锈钢光亮退火管(316LBA) 和304不锈钢电抛光管(304EP)
管道连接采用焊接、内壁无疤对焊和高纯气弧焊。
4.对于总杂质含量s1ppm的高纯度气体管道， 必须使用316升不锈钢电抛光管(3I6LEP) .管道连接应采用焊
接、内壁无疤对焊和高纯氙气保护焊在专用洁净室进行.例如， 管道PO 2、PH 2、PN 2、arr、He和N 2是不锈钢
316厘泊管道。CD A采用不锈钢304BA管。
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