实验室气路安装5
气体管件在安装时，天燃气管道氮气置换，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
实例操作
1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在天花板下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，***试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
管道氮气置换方案-管道氮气置换-念龙化工由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司（）有实力，信誉好，在河南 郑州 的工业气体等行业积累了大批忠诚的客户。公司精益求精的工作态度和不断的完善创新理念将促进念龙化工和您携手步入辉煌，共创美好未来！
气体管件在安装时，天燃气管道氮气置换，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
实例操作
下面以某城镇新建管道与在运中压管网碰口并网置换作
业为例予以说明。此次作业需将500m 新建de160 管道与在运
de160 干管、2 条de110 支管碰口并网，增加支管供气气源形成
环网供气。示意图如下 ：
其作业程序为 ：在运管网 ：停气放散→氮气置换 ；
新建管道与在运管网: 碰口连接→氮气置换空气 ；并网后的在
运管网和新建管道: 置换氮气→***供气。
5.1 停气放散
待准备工作就绪，管道氮气置换方案，按照置换方案关闭干管来气阀门GF1、
GF2、GF3 及全部调压器进、出口阀门( 并经确认) 暂停供气 ；
后在GF1-1 阀门( 放散点1) 处连接放散火炬并开启GF1-1 和
火炬放散阀进行燃放作业，待放散至表压为零且火焰
自行熄灭后，关闭火炬放散阀和GF1-1 完成放散，拆除放散火
炬，开始进行氮气置换作业。
5.2 氮气置换天ran气
在GF1-1 阀门( 注氮点) 处连接注氮管线，长输管道氮气置换，同时在干管
和支管末端( 放散点2、3、4) 调压器进口阀门后放散口处连
接放散火炬。先置换干管 ：关闭ZF1、ZF2 阀门，从放散口向注
氮口方向依次开启放散点4 的火炬放散阀、调压器进口阀门、
GF1-1 阀门，管道氮气置换，按前述置换要求参数进行注氮。直至检测合格后
关闭调压器进口阀门、火炬放散阀、GF1-1；同理分别对支管2、
1 依次置换合格。完成氮气置换后，方可进行新建管道
与在运管网碰口施工。
1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在天花板下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，***试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
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