





湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。离子渗氮表面形成的渗氮层具有优异的力学性能,如高硬度、高耐磨性、良好的韧性和疲劳强度等,并使离子渗氮零件的使用寿命成倍地提高。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。??
Roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了Ar、He和空气的“APGD”。由于大气压辉光放电目前还没有一个认可标准,许多实验所看到的放电现象和辉光放电很相似即出现视觉特征上呈现均匀的“雾状”放电,而看不到丝状放电,但这种放电现象是否属于辉光放电目前还没有共识和定论。1993年Okazaki小组利用金属丝网(丝直径0.035mm,325目)电极为PET膜(介质)、频率为50Hz的电源,在1.5mm的气体(亚气、氮气、空气)间隙中做了大量的实验,并宣称实现了大气压辉光放电。
次大气压下辉光放电(HAPGD)由于大气压辉光放电技术目前虽有报道但技术还不成熟,没有见到可用于工业生产的设备。而次大气压辉光放电技术则已经成熟并被应用于工业化的生产中。离子渗氮炉包括炉体、真空系统、供气系统、测温系统及控制系统所组成。次大气压辉光放电可以处理各种材料,成本低、处理的时间短、加入各种气体的气氛含量高、功率密度大、处理。可应用于表面聚合、表面接枝、金属渗氮、冶金、表面催化、化学合成及各种粉、粒、片材料的表面改性和纺织品的表面处理。
