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据行业***人士介绍，目前***气已在铠侠(日本东芝)、SK海力士规模应用，市场有传闻三星也有导入计划。国内长江存储，大连英特尔已小规模在使用。***气其在3D NAND上应用主要是深沟道槽的刻蚀与清洁。3D NAND的沟道槽纵深比大，按要求刻蚀好深沟道槽图形的重要性非常突出。据消息人士2019年年底预测，2020年该行业***气的用量可达4000m3/月（没有考虑疫情影响）。随着5G、物联网技术、及各类电子产品快速迭代，大数据正呈现出式的增长，3DNAND芯片的需求也随之高速增长。因而***气的使用量也随着增长，突显加剧***气供需不平衡。

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