半自动探针台EG1034

EG1034是ELECTROGLAS公司生产的用于半导体晶片在片测试的经典半自动探针台，采用平面电机、气悬浮无摩擦、高精度移动。适用于安装各种探针架。
拨动开关半自动控制chuck的左右(X)和前后(Y)的步进，手动调节上下(Z)方向。
可以安装选件Super D以便于电脑控制。
可以安装选件探边器和打点器便于自动换行和筛选。
{)lL P5v­?­? 主要特点：
配合选件SUPER D控制模块可以直接进行电脑控制；
可测片径：3″-- 6″； @a)E

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3  X-Y工作台行程：150mm×150mm；
电源：110V/220V，50/60Hz；
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Y­S7h i 5  压缩空气压力:80 p.s.i；k5ty ay

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6  功耗：<100W；
步进***小尺寸：&plu***n;5μm。
精度：X、Y轴150mm全尺寸误差小于6.35μm。

（Email: peterchen@)