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空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，不锈钢真空泵厂家，并及时更换油滤和油品。

4、防止温度过高：

比较容易理解这点，半导体在真空泵的应用中，***气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下及有***体就会容易发生***。

当我们在使用水环真空泵的时候，需要注意到在导体中的使用安全注意事项吗，质量好的不锈钢真空泵，以及后期再使用时做好操作使用

2、合理稀释液***气体的浓度值：半导体易造成前边常说的、***的***气体。因此半导体水环真空泵运用中在抽取这种介质时就务必避免他们在真空泵内或是排气管全过程中产生一些不可控性的反映。例如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等化学物质，在与气体或氧触碰的情况下，会造成点燃乃至；氡气在空气中的混和占比做到一定水平与温度时也会产生点燃。这种都在于该物质的量及其与自然环境的工作压力、温度的关联。因而半导体真空泵在抽取这种介质时，必须用N2这类的稀有气体，在缩小前将要这种汽体稀释液到那时候标准下的安全性范畴。3、留意co2的浓度值：

罗茨真空泵与前级泵抽速的关系

罗茨真空泵采用***的真空技术，很多人会将它与前级泵搞混，但实际上前级泵只是设备的一部分，因此两者的抽速之间也有相对的关系，下面就给大家介绍一下两者之间的关系：　　1、在较高压力下启动时　　①压力下降速度很快，不锈钢真空泵，达到了要求的压力，启动时虽然超过了许可压力差，2bv不锈钢真空泵，但短时间超负荷一般的马达不会发生问题。　　②对入口压力非常低或前级泵气镇阀工作时，通常使用双级前级泵，否则所需的前级压力很难达到。在这种压力下前级泵的抽速变得太低了，将导致压缩比太高，容积效率降低了。　　2、由于压差的增加，必将引起所需功率也要增加。在出口管道设置专用的气体冷却器，这时许可的压差可以增加，因为冷却气体的回流能保持转子的温度在规定的范围内。　　3、在真空和高真空范围内，抽速比多采用10:1。在入口压力有较大变化或前级压力变小，则压缩比降低，故抽速比多选择5:1。　　4、泵入口压力处在粗真空范围内时　　①罗茨真空泵与前级泵的抽速比，对入口压力为15hPa时时6:1，对入口压力为75hPa时是2:1，这是压力差变成了重要因素。　　②在粗真空范围内，罗茨泵和前级泵抽速比，对每种情况要分别去确定，一般来说，是比较小的。而容积效率相当好。　　③允许压差范围在40-100hPa，在较高的压力范围150hPa时，允许的压力差稍高，因为被抽气体量多谢，改变了转子的冷却。　　罗茨真空泵与前级泵的抽速是有一定关系的，两者之间的关系主要取决于容积效率和真空泵许可的压力差，如果压力差超过就会过热膨胀，致使设备发生卡死问题。