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优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
乱流式
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,工厂空气净化工程价格,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
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洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,工厂空气净化工程,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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20世纪60年代的洁净工程在美国、欧洲等发达***顺应各行各业产品生产和科学实验活动的需要得到了广泛应用,可以认为是洁净工程的大发展时期。美国在1961年诞生了国际上早的洁净室标准即美国空程条令203,并把编制联邦***标准的任务交给了原子能的出版机构;1963年底颁布了个部分的联邦标准即FS-209,从此联邦标准"209"就成为国际通行的、的洁净室标准; 1966年颁布了修订后的FS-209A,1957年前苏联颗人造上天后,工厂空气净化工程报价,美国***加速发展宇航事业、精密机械加工和电子工业,这些都要求具有受控空气洁净的生产环境,从而带动洁净工程及其设备制造的大发展,1961年单向流洁净工程和100级洁净室的建立,更促进了洁净工程的进一步发展。
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