净化室之工程建筑行为主体构造，一般是用建筑钢筋或骨水泥，但不论是哪种构造，务必考虑以下之标准： (1)不容易因温度转变与震动而产生裂缝。 (2)不容易造成浮尘粒子，且没办法粘附粒子。 (3)吸湿性小。 (4)以便保持房间内之环境湿度标准，热介电强度要高。 进到洁净区的空气，历经初效(别称粗效)、中效过滤器、高1效率三级过滤装置过虑，使空气做到所规定的清洁级別。因为送风口能够滤除
复合型洁净工程能够分三类：清洁隧道、清洁管路、并装部分净化室。
(1)清洁隧道：以HEPA或ULPA过滤装置将制程地区或工作中地区100%遮盖使洁净度等级提升至10级之上，可节约安裝运行花费。此形式需将工作工作人员之工作区域与产品和机器维修给予防护，以防止机器维修时危害工作中及质量。ULSI制程大多数选用此类形式。 清洁隧道另有二项优势：A.延展性扩大非常容易；B.检修机器设备时可在维修区随便实行。
(2)清洁管路：将产品步骤历经的自动化生产线包围着并清洁解决，将洁净度等级增至100级之上。因产品和操作工及发尘自然环境互相防护，小量之排风就可以获得优良之洁净度等级，可节约能源，不需人工服务的自动化技术生产流水线为适合应用。食品类业界及半导体材料业界均可用。
(3)并装部分净化室：将洁净室等级10,000~100,000之漩涡清洁房间内之产品制程区的洁净度等级提升为10~1000级之上，认为生产制造的用处；洁净工作台、清洁工作中棚、清洁箱式风机即属该类。
