特种气体：氦气
氦气具有化学惰性，常被用做半导体工业的保护气和科学实验中的载体气。氦气可以隔绝氧气，避免电焊工件、单质硅和氧气发生化学反应。目前，保护气已成为氦气的第二大应用领域。在气相色谱中，氦气作为载体气可运送被测气体且不与其发生反应。
氦气分子1小，使其穿透能力强、密度1小，被用做管道检漏，可解决单纯依靠声波检测技术无法解决的问题，对深埋管道或拥有保温层防腐层的热力、输油、输气管道，特别是低压运行的管道，有明显的检测效果。
特种气体系统：
主管路系统的设计
对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→用气点分类特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有***体和腐蚀性气体。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。后管道还要有良好的接地。
特种气体系统的设计与施工
辅助系统的设计
气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。该办法检测灵敏度高，能完成任何工作压力的漏率检测，反映被检件的实在走漏状况。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。
特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。
特种气体施工方法：
在管道安装前，应绘制管道轴侧图，标明管道的长度和焊口的详细位置。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的***预算低。绘图时应多考虑焊接的操作空间，并尽量着气流的方向进行安装。为了防止微粒污染，管道的所有预组装加工应在临时净化间内进行。管子在切割过程中应防止变形或划出痕迹，在切割的过程中用高纯***气进行吹扫以避免污染。切割完后，用专用刮削工具将端口刮削至平整，光滑，如端面不平，用专用工具将未端平整。焊接接口的好坏将直接影响到焊缝的质量，从而影响整个配管安全。
