液环式真空泵-博富来真空泵-2bw液环式真空泵

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及***的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，2bw系列液环式真空泵，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

四、发动机工作时　　1、连杆轴颈所受的综合作用力始终作用在连杆轴颈的内侧，方向沿曲轴半径向外，造成连杆轴颈内侧磨损很大，形成椭圆形。　　2、锥形磨损是由于通向连杆轴颈的油道是倾斜的，当泵回转时在离心力的作用下，润滑油中的机械杂质偏积在连杆轴颈的一侧，加速了该侧轴颈的磨损，使连杆轴颈的磨损呈锥形。　　2sk水环式真空泵发生磨损还有一个重要的原因，就是我们日常在使用过程中缺少它的***和检修，2be3液环式真空泵，只要在***以后做好***和维护工作就可以了，就会减少设备问题的发生。

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

4、防止温度过高：

比较容易理解这点，半导体在真空泵的应用中，液环式真空泵，***气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下及有***体就会容易发生***。

当我们在使用水环真空泵的时候，需要注意到在导体中的使用安全注意事项吗，以及后期再使用时做好操作使用