特种气体的作用：
1、反应及中和介质，在精细化工、生物医1疗中用于反应、保护等。
2、冷冻和保鲜介质，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。
3、治1疗杀菌介质，氦气、氧气、氮气、激光混合气等用于医1疗设备。
4、综合手段与介质，应用于制造业的成型保护、核反应堆的保护、电光源照明行业和吹扫等。
氦质谱检漏法是使用氦质谱检漏仪的氦分压力丈量原理，完成被检件的氦走漏量丈量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，走漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。由于氦气的液化温度很低，接近于绝1对零度，故其测温范围很广，多用于精密测量。
特种气体系统：简单供气系统
由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（lt;50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；但对要求不是很高的施工，为了降低成本，每天的焊接结束后，把两端用管帽和洁净胶带封死。配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，***性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别***气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。
特种气体的分类
近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，促使这一块所需使用气体的飞速发展。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等行业。特种气体系统的设计与施工特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。主要包括：
1、硅族气体：含硅基的硅i烷类。
2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。
3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主。
4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。
5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。
特种气体的杂质检测和监控
随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从***早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直***产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。(1)运输量的计算运输量的计算是用一个容器的气体充填量乘上车上装载的容器个数。
