







真空电镀设备膜厚的不均匀问题
无论监控仪精度怎样,它也只能控制真空室里单点位置的膜厚,一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的,那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性,但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的,所以几乎是不可能消除的,但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响化。
在过去几年中,越来越多的用户要求镀膜系统制造厂家提供高性能的小规格、简便型光学镀膜系统,同时,用户对性能的要求不仅没有降低,反而有所提高,特别是在薄膜密度和保证吸水后光谱变化化等方面。
现在,系统的平均尺寸规格已经在降低,而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。因此,选用现代化光学镀膜系统的关键取决于对以下因素的认真考虑:对镀膜产品的预期性能,基片的尺寸大小和物理特性以及保证高度一致性工艺所必需的所有技术因素。
影响镀膜机磁控靶点火电压的几个因素
气体压力对点火电压的影响:在磁控靶溅射镀膜工艺过程中,由于磁控靶的阴-阳极间距一经确定就是一个大体不变的值,工作气体的压力在一定的(例如0.1Pa~10Pa)范围内变化可能会对点火电压产生较大的影响,总的变化趋势为:随着工作气体的压力的逐步增大,磁控靶点火电压相应降低。不同的磁控靶、不同材质的靶材,靶启辉点火的工作气体压强不尽相同。
电源对点火电压的影响:在同等条件下,选用射频靶电源比选中频或直流靶电源,磁控靶阴极点火电压和工作(溅射)电压都会要降低;选用射频、中频正弦半波或脉冲靶电源,比选低频率同类波形靶电源,阴极点火电压和工作(溅射)电压均会要降低;
镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
1、镀膜材料纯度不高,含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。
2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。
不锈钢饰板离子镀膜机有什么特点
该系列设备安全、环保、工艺稳定,膜层颜色丰富,色泽均匀,耐磨损,抗腐蚀,耐高温,附着力好且不易褪色。广泛应用于不锈钢板、不锈钢管材(长6米)、不锈钢展架、不锈钢LOGO标牌、锁具、拉手、五金卫浴、不锈钢餐具等不锈钢制品及塑料电镀件、陶瓷等表面镀膜工艺。
不锈钢饰板离子镀膜机专为不锈钢饰板离子镀装饰膜层设计,离子镀膜层有真实的金属质感,这是化学镀不锈钢彩板不能比拟的。该系列设备镀室直径1800~2300mm高3600~4400mm,可一次镀1220x4000mm板3张;配三套大抽力真空机组,抽速快,工作周期短;采用圆形电弧靶34~56个,靶位合理布局,配脉冲偏压系统,膜结合力好,彩色均匀,触摸屏 PLC,可以实现电脑全自动控制,自动/手动随时切换,运行性能可靠稳定。
该系列设备安全、环保、工艺稳定,膜层颜色丰富,色泽均匀,耐磨损,抗腐蚀,耐高温,附着力好且不易褪色。可镀制TiN钛金装饰膜层;TiC、CrC枪黑色、黑色、***系列膜层;ZrN锆金、香槟金、黄铜色系列膜层;TiCN玫瑰金、玫瑰红、酒红、咖啡色系列膜层;TiO宝石蓝、翠绿、粉红、彩虹色系列膜层广泛应用于不锈钢板、不锈钢管材(6米)、不锈钢展架、不锈钢LOGO标牌、锁具、拉手、五金卫浴、不锈钢餐具等不锈钢制品及塑料电镀件、陶瓷等表面镀膜工艺。