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学微电子净化工程净化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高1效净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
光学微电子净化工程净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季gt;16℃;夏季 lt;26℃;波动±2℃。
温度45-65%;GMP车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
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光学微电子净化工程解决方案:[2]
净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,万级净化间工程收费,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
1、组合式空气处理机组 冷水机组 高1效送风口
这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
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20世纪60年代的洁净工程在美国、欧洲等发达***顺应各行各业产品生产和科学实验活动的需要得到了广泛应用,万级净化间工程费用,可以认为是洁净工程的大发展时期。美国在1961年诞生了国际上早的洁净室标准即美国空程条令203,并把编制联邦***标准的任务交给了原子能的出版机构;1963年底颁布了个部分的联邦标准即FS-209,从此联邦标准"209"就成为国际通行的、的洁净室标准; 1966年颁布了修订后的FS-209A,1957年前苏联颗人造上天后,美国***加速发展宇航事业、精密机械加工和电子工业,这些都要求具有受控空气洁净的生产环境,万级净化间工程,从而带动洁净工程及其设备制造的大发展,1961年单向流洁净工程和100级洁净室的建立,更促进了洁净工程的进一步发展。
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