全自动真空碳氢清洗机过程由PLC自动控制，设备生产主线由2个真空脱气超声波清洗，1个强力真空超声波洗， 2个蒸汽洗 真空干燥组成，其工作原理是利用超声波渗透力强的机械震动力冲击工件表面并结合碳氢清洗剂的化学去污作用，在真空状态下进行清洗，使工件表面和盲孔、狭缝干净.
工作过程：由操作者将装有工件的清洗篮放在进料台上，然后自动送至清洗机进料位，经机械手将清洗篮依次推入清洗机内进行清洗、真空干燥，后经出料台自动将清洗篮送出，（取出工件），完成整个清洗到烘干的过程。
真空蒸馏，使碳氢清洗剂再生重复使用。清洗剂的蒸馏再生，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热到清洗剂的沸点以上而控制在油污的沸点以下，使清洗剂汽化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的清洗剂，而沸点较高的油污和机械杂质则留在蒸馏罐的底部。卤代烃清洗剂由于沸点低且不可燃，蒸馏再生相对容易，所以，许多卤代烃清洗剂都附带有蒸馏再生装置。
而碳氢清洗剂由于沸点高而闪点较低，在常压下蒸馏再生是不可能的。真空清洗干燥机的蒸馏再生装置在高真空下使碳氢清洗剂的沸点降低到80℃，使清洗槽中溶解了油污的清洗溶液不断地抽入蒸馏装置，在真空中加热蒸发，再经过冷凝成为清洁溶剂回到清洗槽中，使清洗液始终保持清洁状态。油污则留在蒸馏装置底部，定期排出。隔绝氧气，使碳氢清洗剂失去燃烧的条件。绝大多数碳氢清洗剂闪点都在50℃左右，在我国《常用******的分类及标志》（GB13690-92）中属于高闪点液体。虽然闪点较高，但在高温或有助燃物（如纸和棉絮）的情况下仍有燃烧***。因此控制火险成为其推广使用必须解决的问题。燃烧需要有可燃物、温度和氧气三个必要条件，只要缺少一项，燃烧就不可能发生。在真空状态下氧气含量极低，在清洗、干燥和蒸馏再生的过程中，即使碳氢清洗剂的温度达到闪点以上，由于没有氧气，失去了燃烧的一个必要条件，碳氢清洗剂也不会燃烧，从而保证了使用安全。
