震动传感器利用敏感元件的等效RLC电学模型，可以在同一环境下对加速度传感器进行系统设计，从而优化微机电系统，能够方便研究其振动位移响应，对敏感元件的机械参数进行优化设计，固有频率的设计非常重要。
震动传感器满足待测加速度的频率远远小于固有频率的条件时，可以使可动电极上的输出电压与外界加速度呈线性关系，可动电极上的输出电压再通过后续的读出电路读出，使传感器输出的电压与待测加速度成线性的关系。
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电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热小，影响稳定性甚微，而电阻传感器有铜损，易发热产生零漂。
电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。
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电动式传感器基于电磁感应原理，即当运动的导体在固定的磁场里切割磁力线时，导体两端就感生出电动势，因此利用这一原理而生产的传感器称为电感器式振动传感器也称磁电式振动传感器。
磁电式电动传感器从机械接收原理来说，是一个位移传感器，由于在机电变换原理中应用的是电磁感应电律，其产生的电动势同被测振动速度成正比，所以它实际上是一个速度传感器，输出形式一般是交流电压或经电路变换成电流输出，这种传感器安装一般有方向要求，成本低些。
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压电式振动传感器的压电晶体被压紧在质量块和基体之间，当加速度计感受振动时，质量块施加一个振动力于压电晶体上，压电晶体中产生可变电势，通过适当的设计，可以保证在一定的频率范围内输入加速度与输出电势成比例。
压电式振动传感器能够准确地检测宽范围的动态加速度，因此可以用来测量瞬态冲击过程外，还可用来测量正弦振动和随机振动，但是，压电式振动传感器不适用于稳态测量的场合，例如地球引力、惯性制导或诸如发动机加速度及制动等缓慢变化的瞬态过程。
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