氦气质谱检漏的用方法
氦质谱检漏-背压法，背压法的检漏首要应用于各种电子元器件产品检漏。该办法检测灵敏度高，能完成小型密封容器产品的走漏检测，能够进行批量化检测。气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空。可是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时刻太长。此外，每个丈量漏率都对应两个等效规范漏率，在细检完成后还需求选用其它办法进行粗检，扫除大漏的或许。
特种气体系统：简单供气系统
由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（lt;50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，***性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别***气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。
特种气体管道的施工
特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
预制间的选择
特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于特气项目，一般都建有一个标准的预制间。
特种气体的运输
算出运输量
关于高压气体的运输规则，根据其运输量而有所不同。其运输量，可用如下方法算出。
(1)运输量的计算
运输量的计算是用一个容器的气体充填量乘上车上装载的容器个数。
容器的充填量，压缩气体用米3表示，液化气体用公斤表示。
压缩气体 容器内容积(升)×充填压力(公斤／厘米2 )/1000=米3
液化气体 容器的充填质量(公斤)。
