由这种空穴作用而产生的液体流动和数以万计的高压真空气泡瞬间时产生的能量，不断地冲击被清洗物表面，使表面及缝隙中的污垢迅速剥落。但在常压状态下，清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波时产生气泡，超声波的空穴作用会被大幅度衰减，清洗效果被减弱。在真空状态下，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减。
排除工件表面和孔隙中的空气，提高清洗效果。在传统清洗中，清洗效果不理想常常是因为盲孔、粗糙表面和细小缝隙中的空气不能排出，影响清洗剂的浸润，产生清洗盲区。应用真空技术后，可使部件表面、缝隙和盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的每个部位，使工件的各个部位都达到的清洗效果。对于构造复杂、盲孔较深的工件，通过两次以上的抽真空和排气过程，也可以将空气全部排出。所以在真空状态下，清洗效果要比常压下更好。
比一般的超声波清洗设备的功能要齐全很多，一般的超声波清洗设备是常压状态下清洗的，常压状态的清洗有利也有弊，普通的常压超声波清洗通常用来清洗比较规矩的零件，即不含或者只有一两个盲孔的零件，那些具有深孔的零件无法在常压状态下被清洗。在这个快速发展的时候，需要零件都要做到精工级别，其对于清洗的工艺要求也会更高，普通的常压超声波清洗根本无法跟上各工厂对于精工零件的清洗工艺，真空碳氢清洗机可以弥补这个空缺。
并且全部聚集在微小的容积内，有动能就会被迅速释放出来，一个球形的冲击波就会从闭合的气泡中心散开来，这个冲击波的附近的压力有数千个个大气压。由于真空碳氢清洗机启动之后的超声波产生的空化作用与超声波频率相同，因此就正更好的解释了超声波为什么能把零件表面的油渍全部击落并清洗干净，以上就是真空碳氢清洗机的超声波清洗原理，其的就是空化作用。
