蒸发真空镀膜机的原理及性能,你了解多少?
蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等片置于坩埚前方。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。电气设备包括测量真空和膜层厚度及控制台等。因此，排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环，也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。为了提高抽气速率，可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。蒸发式真空镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所，直径一般为400~700mm，高400~800mm，用不锈钢制作，有水冷却装置。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发系统包括蒸发源和加热蒸发源的电气设备。
机械工具真空镀膜设备
对机械工具的要求是生产速度更快、精度更高，但这会导致更高的负荷，从而产生更大的磨损，降低加工度和产品质量，为解决这一问题，至成镀膜机厂家真空研发机械工具真空镀膜设备，为机械工具元件（例如，变速箱、夹紧系统、螺纹轴、导轨和盘形凸轮）保证精度并起到适合的磨损保护作用。
机械工具真空镀膜设备将夹紧系统的表面精度保持在较高的水平，特别是在批量生产中夹紧周期短或出现较高夹紧力的位置，可能存在不当的夹盘和夹头磨损，这会影响精度，通过真空镀膜设备加工的涂层可降低摩擦氧化和磨损，从而会提高夹紧系统的效率。
真空镀膜设备背压检漏法
(1)充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放一定时间，如被检件有漏孔，示漏气体就可以通过漏孔进入被检件的内部，并且将随浸泡时间的增加和充气压力的升高，被检件内部示漏气体的分压力也必然会逐渐升高。 (2)净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部或在其内部喷吹被检件。如不具备气源时也可使被检件静置，以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。在净化过程中，因为有一部分气体必然会从被检件内部经漏孔流失，从而导致被检件内部示漏气体的分压力逐渐下降，而且净化时间越长，示漏气体的分压降就越大。 (3)检漏过程则是将净化后的被检件放入真空室内，将检漏仪与真空室相连接后进行检漏。
