氦气质谱检漏的用方法
氦质谱检漏-真空法，真空法首要应用于真空密封功能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。制定完善的经验证可行的灭菌工艺方案以及环氧乙1烷存放、收发制度，专人持证上岗，严格按照操作规程运行2。真空法检测灵敏度高，能够准确***，能完成大容器或杂乱结构产品的检漏。可是只能完成一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的实在走漏状况。
选用真空法检漏时，需求使用辅佐真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，选用氦罩或喷吹的办法在被检产品外外表施氦气，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会经过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品走漏量丈量。光纤***1主要参数是损耗，无论是石英光纤还是浮化玻璃光纤中的损耗，主要是由OH-阴离子、过渡金属离子和稀土金属离子引起的。依照施漏气体办法的不同，又能够将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其间真空喷吹法选用喷枪的方式向被检产品外外表喷吹氦气，能够完成漏孔的准确***； 真空氦罩法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品悉数罩起来，在罩内充溢必定浓度的氦气，能够完成被检产品总漏率的丈量。
特种气体管道的施工方法
特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。特种气体管道的施工施工管理和现场施工的几个注意点架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。因此对于大宗特气项目，一般都建有一个标准的预制间。 但我们在实际的施工中,大宗特气项目很少,一般都是简单系统和常规系统,为了节约成本和资金,在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工,除作业人员和检察人员外,应禁止无关人员出入。如果业主要求比较严格，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。
特种气体的杀菌
影响灭菌的因素
温度：
温度的常规极限一般在37℃～63℃，1常用的温度一般为50±5℃。但是当温度高到足以使药1物发挥1大作用时，在升高温度，则杀菌效果亦不再提高。特种气体系统的设计与施工GMS和GDS系统气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。灭菌温度的确定同以下条件有关：1）所灭产品的温度耐受性。2）装载量及装载方式，要求装载量≤80%，不接触柜壁，各箱体之间有不小于5cm的间隙。3）包装材料的厚度、大小，堆积密度。
特种气体的分类
特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，走漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
