特种气体:高纯氯1气
高纯氯1气制取方法
高纯氯的生产方法仍以工业氯为原料，吸附净化。工业液1氯中的杂质含量较多，欲制得高纯氯必须把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余杂质的沸点均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分离法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不仅剧1毒，且具有强氧化、强腐蚀的异常活泼的化学性质，除少数稀有气体外，几乎能与所有元素形成化合物。特种气体管道的施工施工管理和现场施工的几个注意点架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。因此要筛选不受氯腐蚀、不与氯起化学反应的干燥剂、吸附剂，以及这些吸附剂的化学处理、再生等。
电子特种气体的介绍
电子特种气体和半导体、平板显示、传感器等电子元器件制造业息息相关，与湿电子***一样是电子元器件的上游原材料之一。其广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中，与生产设备配套使用。因为空气中氧气和氮气分压力***1大、气体分子相对较小，管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和氮气的渗透，一般对氧气的渗透测试比较多。特别是在超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。
特种气体的介绍
特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有***体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
特种气体它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。材料的选择特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等行业。
