1现代化的工业生产对空气湿度的重视程度日益提高，要求也越来越高，对于电子芯片厂房，如果湿度不能满足要求，将会静电，使产品的成品率下降、芯片受损，严重影响企业生产。
本工程为集成电路产品的生产项目，洁净区平面为岛型布置，操作区洁净度为4，5级， 由于生产工艺的要求，对温、湿度的要求很高：温度21℃ ±0．5℃ ，相对湿度40％ ± 3％ ；设备区洁净度为5．5级，无特定温、湿度要求。净化空调系统采用风机过滤单元(FFU) 干表冷器 新风处理机组的型式。操作区为送风区，设备区为回风区。冷源分为两种：低温冷冻水(0℃～5 oC)， 中温冷冻水(12℃～16℃)；热源为38℃～32℃ 的热水， 由热水锅炉和带热回收的冷冻机组提供。洁净区的温度由干表冷器控制，相对湿度由新风处理机组控制。但是它的雾化粒子的颗粒大，均匀性差，容易浪费水源，不是特别适合于室内加湿。
2 加湿方案选择
由于热源使用热水，没有蒸汽系统， 出于减少系统种类的考虑，首先选择非蒸气的加湿方式。淋水室加湿为等焓加湿，在加湿过程中不仅可以清洁新风，部分去除新风中的灰尘；还可以使新风中的一部分化学物质溶解于水， 降低新风中的化学物质的含量。淋水室全年运行，冬季用于加湿、清洁新风，夏季则起到清洁新风的作用。淋水室的缺点是占用空间大，在新风处理机组中长度为1．9 m；与空气直接接触，易受污染变脏，需要定期排污。新风处理机组由初效过滤器、中效过滤器、一级加热盘管、一级冷却盘管(使用12℃～16℃ 中温冷冻水)、淋水室、二级冷却盘管(使用0℃～5℃低温温冷冻水)、送风机、二级加热盘管、过滤器组成。新风处理机组的组段方式见图1。饱和干蒸汽加湿为等温加湿，直接将空气加入到空气中，加湿迅速、均匀、稳定、不带水滴、不带***、设备简单、安装灵便、运行费用低，选择适当的控制仪表，能够满足工艺对室内相对湿度波动范围小于±3％的要求。
加湿方案采用高压喷雾加湿器 电热加湿器的方式。高压喷雾加湿器用于粗调节；电热加湿器用于精调节，选择适当的控制仪表，其精度调节能够满足相对湿度± 3％ 的要求。高压喷雾加湿是利用压缩空气与水混合喷雾将水破碎成微小水滴，对空间进行直接加湿。优点：微雾效果，加湿量大，安装简单方便，免清洗，使用寿命长，设备价格低；缺点：需配压缩空气源，加湿精度低。电热加湿是用发热体将水加热至沸点，产生水蒸汽并释放到空气中进行加湿。优点：加湿均匀、稳定、不带水滴、不带***，加湿精度高；缺点：易结垢，耗电量大，运行费用高。我们都知道，高压微雾加湿器应用行业广泛，在印刷、纺织、、畜牧、农业、景观等行业都有广泛的应用，关于高压微雾加湿器的工作原理我们都已经有所了解，现在就来看一下使用高压微雾加湿器的注意事项吧。新风和醋栗机组由初效过滤器、中效过滤器、一级加热盘管、一级冷却盘管、高压喷雾加湿器、电热加湿器、二级冷却盘管、送风机、二级加热盘管、过滤器组成、新风处理机组的阻段方式见图3.
冬季加湿过程：新风先由一级加热器从点W加热至点S，再通过高压喷雾加湿器焓加湿至点P，然后由电热式加湿器加湿。设定干球温度Tdb=15度，是因为对于蒸汽加湿，能够正常加湿的温度为Tdb=14度左右.
