物理式净化
1.吸附性过滤—活性炭活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力缺点：普通活性炭并不能吸附所有的有***体，效率较低、易脱附。但在一个操作间，机器以及机器周围走动的人员，会对气流形成障碍。
2.机械性过滤—HEPA网HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。实践过程中常常出现二次检测超标的现象二是是在不改变化学成分的基础上吸收甲醛，降低空气中的甲醛含量，但是这样的方式治标不治本，甲醛容易再次释放出来。
2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机 增压风柜 送风口与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。
优点：A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。1、组合式空气处理机组 冷水机组 ***送风口这是一个***传统的净化空调系统的设计方案。
缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;C.造价较低。
特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点：A.不需要占用机房面积，布置很灵活的;B.可以满足空气的洁净度;C.造价少。如此类无尘车间初***约需要40万;D.送风均匀度好。
缺点：A.温湿度控制较差;B.可以满足空气的洁净度;C.FFU的维修频率高。
影响生产效率
如果车间内生产环境到不到要求或不稳定，那就要停止产品的生产，停下来解决洁净达不到要求的问题，而这样一有大多到要求就要停止工作，那生产的效率肯定跟不上，完不成交货。
影响产品质量
车间内环境还会影响到产品的质量，例如一些集成电路、精密仪表和微型电机等产品，如果被灰尘颗粒的污染，就会对产品本身造成质量不佳，严重的直接导致产品无法使用，为了防止洁净车间的环境符合要求，就要时常进行检测，防止车间的环境洁净度达不到，而产品却批量生产出来的紧急情况。2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P-MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏。
