分为范围和层两种类型，范围是指把局部加工到位，再更换加工区域；层是指按照Z坐标值，把同一层加工到位，然后再下切一层进行加工，直到加工完零件。等高精加工对陡峭面加工质量比较高，需要加工平坦区域时，则选择此项，并根据零件加工要求填写平坦面公差。公差应按照图纸要求填写，基本要求在0.01左右。对于精加工而言，选择顺铣加工，能够提高零件的表面加工质量。白云数控加工流程服务***。
针对微小阵列结构的光学自由曲面元件，曲面曲率变化大，XZC联动加工时刀具会产生非常大的瞬时运动加速度变化。因刀具安装机床拖板大惯量和驱动功率所限，加上振动因数，XZC直接控制将会遇到很大困难。白云数控加工流程服务***。
对于矢高较小的微小阵列结构的光学自由曲面元件加工，FTS（Fast Tool Servo，快速刀具伺服）加工技术是一种可行的解决方案，即在机床Z轴拖板与刀具之间安装一个低惯量微小行程、高频响位移控制机构（图1）。依Z向加工所需行程大小和频响要求，微位移机构的驱动元件可选压电、音圈或小型直线电机等。FTS的控制可采取CZ随动控制方式。白云数控加工流程服务***。
机床坐标测量采用衍射光栅测量系统；机床采用PC与多轴运动控制器构成的开放式数控系统。机床本体、主轴采用了无脉动重力型水冷恒温；液压源采用恒温、恒压、脉动滤波技术和装置；机房设计为内外双层恒温控制：为了保证控温精度,机床运行时，内机房处于无人状态，操作人员在外恒温隔离间监控。白云数控加工流程服务***。
超精密加工机床系统总的发展趋势是，要求更高的加工表面质量和面形精度，加工尺寸趋于极大和两个方向，同时要求复杂形面、不同材料的加工适应性等。在提高加工表面质量、面形精度方面，一方面继续提高机床的精度、稳定性，另一方面通过加工工艺进步引入复合加工功能等,如在多轴超精密自由曲面磨床上引入进动抛光等准确定性加工功能以提高表面质量和面形精度。白云数控加工流程服务***。
