压电式传感器是利用弹簧质量系统原理，敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力，压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号，压电式加速度传感器具有动态范围大、频率范围宽、坚固耐用、受外界干扰小以及压电材料受力自产生电荷信号不需要任何外界电源等特点，是被广泛使用的振动测量传感器。
压电式加速度传感器的结构简单，商业化使用历史也很长，但因其性能指标与材料特性、设计和加工工艺密切相关，因此在市场上销售的同类传感器性能的实际参数以及其稳定性和一致性差别非常大，与压阻和电容式相比，其缺点是压电式加速度传感器不能测量零频率的信号。
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高灵敏度加速度传感器，结构坚固，可靠性高；采用不锈钢外壳，激光焊接密封，灵敏度高，本底噪声低，广泛应用于桥梁结构测试、建筑振动监测、地面和地基振动监测、地质构造研究等低振级、极低频振动领域。
微型加速度传感器体积小、重量轻、要求安装的空间小；可应用于如电路板、小型结构试验、跌落包装试验、部件试验、模态试验等场合，可有效减少附加质量对测试结构的影响。
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电容式加速度振动传感器需要一个内置电路它具有两种功能：它允许电容变化对测量静态和动态事件有用，并将变化转换为与读出仪器兼容的电压信号，电容式加速度振动传感器通常包含两个电容，调制电路，增益和滤波。
到目前为止描述的加速度振动传感器可以被分类为“开环”设备，与加速度成比例的地振质量的偏转直接使用压电，压阻或可变电容技术测量，与该质量位移相关联的是由于挠曲中的非线性导致的一些小但有限的误差。
伺服加速度计是“闭环”设备，它们将检测质量的内部偏转保持在较小的极限，质量保持在“平衡”模式，几乎消除了由非线性引起的误差，弯曲系统可以是线性的或下垂的，与反馈电流成比例的电磁力将质量保持在零位，当质量试图移动时，电容传感器检测其运动。
