氮气作业时应注意的安全事项
1.在可能发生氮气泄漏的***场所中作业前，必须将待检修设备与生产系统可靠隔绝，经强制置换并分析合格（氧含量＞18％），落实好安全措施后方可进行作业。在不可能置换完全的情况下，作业人员必须使用正压式氧气呼吸器，正确携带CO、O2检测仪，并设专人监护；在可能发生氮气泄漏的***场所中，严禁佩戴过滤式呼吸器作业。(5)由于车辆故障等原因，长时间停车时，为了不让第三者靠近，驾驶员要悬挂警戒标志(红1旗等)充分警戒。
2.氮气的生产、使用现场和操作室等要保持通风换气良好，并定期分析周围空气的含氧量，保证其浓度不低于18%。
准分子预混气的运输和储存
准分子预混气得来不易，在储存和运输过程中要求使用高质量的气体包装储运容器、以及相应的气体输送管线、阀门和接口，确保避免二次污染。而我国加工工艺整体落后以及不符合国际规范，市场主要被国外公司占据。国内电子特气纯度仍有待提升。实验室气相色谱仪用气注意事项1、必须使用无水分和氧份的高纯度的氮气，纯度必须大于99。目前国外电子特气的纯度一般在6个“9”（即99.9999%），而国内多在4—5个“9”之间，少数能达到6个“9”。
准分子预混气输送管道系统的施工
准分子预混气吹扫时间根据气体品质不同要求确定，直到测试纯度合格为止。非氮气管道，用氮气吹扫合格后进行置换，然后再次吹扫，直至置换后的气体达到纯度要求为止。根据气体工艺要求应做各种测试，包括管道系统总体对外泄漏试验、总体对内泄漏试验、颗粒物、露1点、含氧量测试氦检泄漏试验等。盛装腐蚀性气体的气瓶（如so2、硫1化氢等），每二年检验一次。管道经测试合格后管内通入高纯氮气进行保护。
