一、主要用途:
该产品主要用于硅圆片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置),主要的作用是:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干。
二、主要技术特点
1.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。
2.采用彩色液晶汉显监控,可存储十种用户工艺菜单。
3.结构采用净化处理技术。
4.去离子水电阻率监控。
5.防静电控制。
6.氮气温度控制,腔体温度控制。
7.转轴氮气密封。
8.可选无刷电机驱动。
9.旋转载体***。
10.故障自动诊断,显示及报警系统。
11.可按用户特殊要求配制。
三、结构特点:
1.轴用直流伺服电机实现无级调速,离心转桶***高转速2800转/分。
2.离心转桶的转轴和甩干桶之间采用氮气动密封,减少对环境的污染。
3.橡胶门在工作时充气膨胀,起到密封与安全作用,门上装有安全连锁装置,只有关***后才能启动。
4.气加热器可以提供热氮气,加速甩干桶水分的蒸发。
5.定向制动装置,每次停机时,硅片承载器的开口向上,防止硅片掉出。
6.主要结构采用不锈钢。
四、主要技术参数:
1.适用范围:8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸硅片的清洗甩干。
2.清洗时的转速:1000转/分以下连续可调。
3.甩干时的转速:2800转/分以下连续可调。
五、功能介绍:
1.容量大,大直径,一次可洗4盒-6盒
2.采用变频技术,清洗和甩干速度按使用要求随意变换,并按实时显示在液晶屏上
3.采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠
4. PLC全自动控制,整个过程智能化
5.液晶智能显示工作状态及数据
6.采用油浴炉加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有过热保护
7.***喷头和气液流体控制系统, 全自动切换
8.清洗的时间可以根据需要随意调整
9.整机采用不能磁化的不锈钢和铝板为原材料
10.保证能够清洗甩干156mm以下规格的电池片
11.可根据用户使用场合及洁净度要求,工件的***大加工直径及兼容性,生产和技术发展的需要定制符合其硅片规格的各类机型
1.容量大,大直径,一次可洗4盒-6盒
2.采用变频技术,清洗和甩干速度按使用要求随意变换,并按实时显示在液晶屏上
3.采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠
4. PLC全自动控制,整个过程智能化
5.液晶智能显示工作状态及数据
6.采用油浴炉加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有过热保护
7.***喷头和气液流体控制系统, 全自动切换
8.清洗的时间可以根据需要随意调整
9.整机采用不能磁化的不锈钢和铝板为原材料
10.保证能够清洗甩干156mm以下规格的电池片
11.可根据用户使用场合及洁净度要求,工件的***大加工直径及兼容性,生产和技术发展的需要定制符合其硅片规格的各类机型
六、主要特色:
1.融合欧洲同类产品***技术
2.清洗甩干烘干一次完成
3.整个工作时间短,效率高,一般只需5-6分钟
4.可以清洗103mm~156mm 各种规格的硅片
1.融合欧洲同类产品***技术
2.清洗甩干烘干一次完成
3.整个工作时间短,效率高,一般只需5-6分钟
4.可以清洗103mm~156mm 各种规格的硅片
【硅片甩干机】
l 采用日本技术,国内首创新品
l 实用新型专利产品
l 全不锈钢结构,结构紧凑,体积小,重量轻,操作维护方便,美观耐用
l 全部采用进口优质件组装,性能稳定可靠
l 高转速,甩干速度快,破损率低
l 具有氮气加热、纯水喷淋等功能,也可利用室内空气通过***过滤后迅速甩干,节能效果显著