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20世纪60年代的洁净工程在美国、欧洲等发达***顺应各行各业产品生产和科学实验活动的需要得到了广泛应用，可以认为是洁净工程的大发展时期。美国在1961年诞生了国际上早的洁净室标准即美国空程条令203，广州食品车间净化工程费用，并把编制联邦***标准的任务交给了原子能的出版机构;1963年底颁布了个部分的联邦标准即FS-209，从此联邦标准"209"就成为国际通行的、的洁净室标准; 1966年颁布了修订后的FS-209A，1957年前苏联颗人造上天后，美国***加速发展宇航事业、精密机械加工和电子工业，这些都要求具有受控空气洁净的生产环境，从而带动洁净工程及其设备制造的大发展，1961年单向流洁净工程和100级洁净室的建立，更促进了洁净工程的进一步发展。
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洁净室中的防静电
洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。
所谓静电，是由于摩擦等原因***了物体中正( )负lt;一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。
在洁净室内静电导致的事故有以下几方面；
1．静电电引起的静电，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受而摔倒，由摔倒又致伤)；
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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，广州食品车间净化工程，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
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