




振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:高价回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,El,不良测试,二手,旧,工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,回收二手旧太阳能光伏板,实验板,***偿还,返工,光伏模块回收等。
刻蚀工艺
刻蚀目的
将硅片边缘的带有的磷去除干净,避免 PN 结短路造成并联电阻降低。
刻蚀原理
采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应, 采用高频辉光放电反应,使反应气体***成活性粒子,如原子或各种游离基,这些活性粒子扩散到硅片边缘,在那里与硅进行反应,形成挥发性生成物***而被去除。
化学公式: CF 4 SIO 2 =SIF 4 CO 2
工艺流程
预抽,主抽,送气,辉光,抽空,清洗,预抽,主抽 ,充气。
影响因素
1. 射频功率
射频功率过高:等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤,导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区(耗尽层)造成的损伤会使得结区复合增加。
射频功率太低:会使等离子体不稳定和分布不均匀,从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足,导致并联电阻下降。
2. 时间
刻蚀时间过长:刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大,时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区,从而导致损伤区域高复合。
刻蚀时间过短:刻蚀不充分,没有把边缘鳞去干净, PN 结依然有可能短路造成并联电阻降低。
4. 压力
压力越大,气体含量越少,参与反应的气体也越多,刻蚀也越充份。
电池片的制作工艺
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参数相互关系
1. 压力与间距:压力越大时,间距也大;因为压力大时,***与网板接触的地方凸出来也多,间距小的话,硅片承受的压力加大,碎片的概率会加大。两个参数当中的一个改变 , 另外一个不改 , 就可能加大硅片碎的可能性或影响印刷质量。
2. 印刷速度影响到产能 , 同时也影响到印刷到硅片浆料的多少。
印刷参数的调整
1. 先把印刷速度改小,以方便在调试时能很好的观察(如印刷速度为 50mm ) 。 完全松***定螺丝,并保证***和回***左右的固定螺丝未锁,能自由活动。
2. 先设定印刷间距:印刷间距以浆料能很好的印刷到硅片为宜,无粘片和虚印。 ( 推荐为: 1.5 0.3)
3. 在间距定下后,设定印刷压力。压力由小到大慢慢加,回收层压件太阳能光伏板,加到在印刷时浆料能收干净就可以。
参数的调整
4. 在压力和间距设定好后,印刷一片看看印刷是否合格,否则再作微调。(印刷速度未改)
5. 合格后, 慢慢朝下拧锁定螺丝,在感觉到锁定螺丝刚碰到东西时,把锁定螺丝锁住。这个动作相当于找到了一个刮胶下降的一个限位,保证***在压力加大时不会再下压。
6. 然后加快印刷速度,并测印刷重量,如过大,则减速,过小,则加速。(推荐 170mm ) 。
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二、 翘曲:
1、 硅片太薄:控制原始硅片厚度;
2、 印刷铝浆太厚:控制铝浆增重量;
3、 烧结温度过高:调整烧结炉4、5、6、7区温度;
4、 烧结炉冷却区冷却效果不好:查看风扇状况、进出水温度压力等
三、 铝包:
1、 烧结温度太高:调整烧结炉4、5、6、7区温度;
2、 印刷铝浆太薄:增大铝浆的印刷量;
3、 使用前浆料搅拌不充分:搅拌时间必须达到规定时间;
4、 铝浆印刷后烘干时间不够:增加烘干时间或提高烘干温度;
5、 烧结排风太小:增大烧结炉排风;
6、 烧结炉冷却区冷却区冷却效果不好:查看风扇状况、进出水温度压力等;
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